发布时间:2026/7/31
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KM-X5000A 将五种精密测量设备的核心能力融合在同一平台上,用户无需在多台设备间切换工件,即可完成从表面观察到尺寸测量、从形貌分析到膜厚检测的全流程测试,大幅提升检测效率,同时避免了多次装夹带来的误差累积。
测量精度:图像测量精度达 ±0.7μm,重复精度 ±0.1μm,测量范围 300×200×100mm,可满足大多数精密零部件的尺寸检测需求。设备配备 2500 万像素相机(1 个黑白 + 1 个彩色),广视野 25×25mm、高精度 6×6mm 双视野设计,兼顾测量效率与精度。
三大核心技术:
亚像素算法:将单个像素细分为百分之一,实现边缘的精准识别,突破传统像素级测量的精度瓶颈。
高分辨率双远心镜头:双倍率双远心设计,无畸变成像,确保测量数据的准确性和一致性。
直线电机驱动:保证运动的平稳性和定位精度,为高精度测量提供可靠的机械基础。
基于光谱共焦技术,非接触式测量 3D 轮廓、粗糙度、平面度、台阶高度等表面形貌参数,还可测量最小 5μm 的透明膜厚,广泛应用于半导体晶圆、光学元件、精密涂层等领域。