凯视迈KC 系列｜光谱共焦三维精密测量显微镜产品手册

凯视迈 KC 系列是基于自研激光光谱共焦技术打造的三合一精测显微镜，集显微观测、三维形貌扫描、轮廓粗糙度量化测量于一体，替代传统显微镜、触针式轮廓仪、粗糙度仪多台设备，为精密制造与科研场景提供非接触式无损 3D 检测方案。

设备依托光谱共焦核心原理，Z 轴分辨率可达 2nm，测量过程不接触样品，不存在触针划伤样品风险，样品无需喷金、染色等复杂预处理，兼顾研发试样检测与产线品质管控需求。区别于传统光学设备，KC 拥有较强的材质适应性，金属、半导体晶圆、薄膜、高分子、玻璃、陶瓷等材质均可稳定测量，面对高反光镜面、透明 / 半透明薄膜、陡峭斜面、深沟槽等传统测量难点，依然可以稳定采集高度数据，生成带高度信息的真彩三维点云图像。

搭载直线电机精密 XY 扫描平台，支持大视场图像拼接、深度合成，齐焦镜头支持观测与测量模式快速切换；配套凯视迈自研三维测量分析软件，自动计算台阶高度、粗糙度、平面度、轮廓曲线、膜厚等指标，计算算法符合 ISO 标准，支持原始数据导出、自定义检测报告一键输出，数据可追溯。

KC 系列广泛应用于半导体封装、PCB 电子、新能源锂电、光伏、3C 精密零部件、航空航天、材料科研、精密模具等领域，可完成晶圆微缺陷、涂层厚度、微结构轮廓、表面粗糙度、精密焊点、薄膜表面表征等检测工作，兼顾高校实验室基础研究与工业企业来料检验、制程监控、失效分析，是国产高性价比的微观精密测量装备。